アトミックレイヤーエッチングとドライエッチング技術の未来展望 図5:ALEの原理(Siのエッチングの事例)(クリックで拡大) 出典:Lam ResearchのWebサイト 記事に戻る 湯之上隆(微細加工研究所) 有門経敏(Tech Trend Analysis),EE Times Japan