垂直方向に並んだセルトランジスタを一気に作る

「メモリセルの形成（Cell Formation）」技術における課題と解決策のまとめ。左の図はセルストリングの一部を拡大したもの。緑色の板が制御ゲート、紫色の円筒がシリコン酸化膜、水色の円筒がシリコン窒化膜（電荷捕獲層）、橙色の円筒が多結晶シリコンのチャンネル、赤色の柱がコアフィラー。出典：Applied Materials（クリックで拡大）