垂直方向に並んだセルトランジスタを一気に作る

3D NANDフラッシュ技術のメモリセルアレイ構造。左下はセルアレイ全体の鳥瞰図。中央はセルストリングとメモリセル（セルトランジスタ）の断面構造図。右端はセルアレイとセルストリングの一部を切断した構造図。出典：Applied Materials（クリックで拡大）