最先端のドライエッチング技術−マルチ・パターニングとHARC−

図6：ArF液浸シングル露光を1とした場合の相対コスト比較（クリックで拡大） 出典：元ギガフォトン顧問の岡崎信次氏の資料を基に筆者作成