メモリセルの制御ゲートをワード線に引き出すステアケース

「トリム（Trim）」技術の概要。上は従来技術によるステアケースのパターン形成。下は「トリム」を利用したパターン形成の手順。4段分のステアケースを形成後に、レジストを剥離した場合。出典：Applied Materials（クリックで拡大）