メモリセルの制御ゲートをワード線に引き出すステアケース

3D NANDフラッシュメモリの断面構造図と、「ステアケース（Staircase）」（橙色の実線で囲んだ部分、左上は拡大図）。ステアケースの各段の表面層が制御ゲート層となっており、細長いコンタクト（灰色の柱）を通じて上方のワード線と接続する。出典：Applied Materials（クリックで拡大）