チャージングダメージの障壁を乗り越えた日米の情熱 図2:東芝の吉田&渡辺論文(1983年DPS) (クリックで拡大) 出典:Y.Yoshida and T.Watanabe , Proceedings of 5th Symposium on Dry Process, p.4 (1983). 記事に戻る 湯之上隆(微細加工研究所) 有門経敏(Tech Trend Analysis),EE Times Japan