メモリセルアレイのベースとなるマルチペア薄膜の形成

マルチペア薄膜形成（Multi-pair Deposition）技術の概要。左の写真は、形成したマルチペア薄膜の断面を電子顕微鏡で観察した画像。右上の表は技術の目的と材料、右下の表は技術の課題と解決策。出典：Applied Materials（クリックで拡大）