メモリセルアレイのベースとなるマルチペア薄膜の形成

3D NANDフラッシュメモリの断面構造図と、マルチペア薄膜の形成部分（橙色の実線で囲んだ部分、左上は拡大図）。出典：Applied Materials（クリックで拡大）