2D NANDフラッシュと3D NANDフラッシュのセルアレイ構造

3D NANDフラッシュ技術のメモリセルアレイ構造。左下はセルアレイ全体の鳥瞰(ちょうかん)図。中央はセルストリングとメモリセルの断面構造図。右端はセルアレイとセルストリングの一部を切断した構造図。出典:Applied Materials

3D NANDフラッシュ技術のメモリセルアレイ構造。左下はセルアレイ全体の鳥瞰(ちょうかん)図。中央はセルストリングとメモリセルの断面構造図。右端はセルアレイとセルストリングの一部を切断した構造図。出典:Applied Materials