光変調器の試作例（マッハツェンダ変調器とリング変調器）

マッハツェンダ変調器（MZ変調器）の概要。左は平面図（レイアウト図）。光導波路の長さは約1.5mm。右上は設計仕様。右下（左）は試作品の変調帯域幅（S21）を測定した結果。右下（右）は試作品によってNRZ信号を56Gビット/秒（bps）と高い速度で変調したときの信号波形（アイパターン）。出典：imec（クリックで拡大）