埋め込みMRAMの磁気トンネル接合(MTJ)に要求される条件 400℃の高温処理によるTMRとHcの変化。横軸は時間(分)。100分間が経過しても、十分な品質が保たれていることが分かる。出典:GLOBALFOUNDRIES(クリックで拡大) 記事に戻る 福田昭,EE Times Japan