WDM伝送を支える光波長フィルターの特性とその制御

光導波路の温度を変えるヒーターの例。左は、考案されている各種のヒーター。タングステン配線に電流を流す、シリコンに不純物元素をドープして電流を流す、といったヒーターが考えられている。右は、2本のタングステン配線ヒーターによってシリコン光導波路を加熱したときの温度分布 出典：imec（クリックで拡大）