シリコン光導波路と基本的な光波長フィルター

光波長フィルターの構造と役割。左上は光波長フィルターの電子顕微鏡観察画像。左下は光波長フィルターの構造図。上の左右に水平に伸びる曲線が入射光側の光導波路。その下がレーストラック型のリング共振器。さらにその下にある水平な曲線が選択光を取り出すドロップ側の光導波路。右上は、8種類の波長の異なる光ビーム（光チャンネル）を各チャンネルに分けて取り出す光回路の回路図。8個のレーストラック型リング共振器（全て選択波長が異なる）をカスケード接続することで、各チャンネルに相当する波長の光だけを選択的にドロップ側に出力する。右下は、8個の光波長フィルターによる光応答特性。グラフの縦軸は透過率、横軸は波長。曲線のピークが、最も透過率が高い波長、すなわちリング共振器フィルターによって取り出す光チャンネルになる （クリックで拡大） 出典：imec