まとめ：新世代のメモリを創造する二酸化ハフニウム/ジルコニウム

二酸化ハフニウムと二酸化ジルコニウムの研究開発小史。Fraunhofer Institute、ドレスデン工科大学（TU Dresden）、NaMLabなどの発表資料を基に筆者がまとめた（クリックで拡大）