「不揮発性DRAM」へのアプローチ(後編) プレーナタイプのキャパシターにおける分極特性(赤線、右の縦軸)と3次元構造のキャパシターにおける分極特性(黒い点線、左の縦軸)。出典:NaMLabやドレスデン工科大学などの共同研究グループが2016年12月に国際学会IEDMで発表した資料から(クリックで拡大) 記事に戻る 福田昭,EE Times Japan