試作された反強誘電体キャパシターの長期信頼性

試作した反強誘電体キャパシターの分極特性。トップ電極に仕事関数の大きな酸化ルテニウム、ボトム電極に仕事関数の小さな窒化チタンを採用した。反強誘電体材料は二酸化ジルコニウム。二酸化ジルコニウムの膜厚は10nmである。出典：NaMLabおよびドレスデン工科大学（クリックで拡大）