新材料「二酸化ハフニウム」を使った強誘電体キャパシターの特性

3次元構造の強誘電体キャパシター。左は試作したキャパシターの顕微鏡観察写真と断面構造図。右はヒステリシス曲線。出典：NaMLab（クリックで拡大）