新材料「二酸化ハフニウム」を使った強誘電体キャパシターの特性

二酸化ハフニウム強誘電体キャパシターの分極反転サイクル特性。横軸はサイクル数。左の縦軸は残留分極電荷量。右の縦軸は電圧。右上はヒステリシス曲線の例。赤い曲線は劣化前、青い曲線は劣化後の状態。出典：NaMLab（クリックで拡大）