FeRAMの長期信頼性に関する特徴

強誘電体キャパシターのヒステリシス曲線。左のグラフは初期の曲線。平行四辺形に近い、きれいな曲線を描く。残留分極(Pr)のプロットは黒丸が初期値で、分極反転の繰り返しによって青丸から赤丸へと小さくなっていく。右のグラフは、分極反転の繰り返しによって「疲労(fatigue)」が起こる様子。ヒステリシス曲線が黒い線から青い線、赤い線へと小さくなっていく。出典:NaMLabおよびドレスデン工科大学(クリックで拡大)

強誘電体キャパシターのヒステリシス曲線。左のグラフは初期の曲線。平行四辺形に近い、きれいな曲線を描く。残留分極(Pr)のプロットは黒丸が初期値で、分極反転の繰り返しによって青丸から赤丸へと小さくなっていく。右のグラフは、分極反転の繰り返しによって「疲労(fatigue)」が起こる様子。ヒステリシス曲線が黒い線から青い線、赤い線へと小さくなっていく。出典:NaMLabおよびドレスデン工科大学(クリックで拡大)