強誘電体メモリ研究の歴史(後編)〜1990年代以降の強誘電体メモリ

中期(第2世代)の強誘電体メモリ。左は「1T1C」方式のメモリセルの断面図と回路図。右は記憶容量が4Kビットの強誘電体不揮発性メモリのシリコンダイ写真。出典:NaMLabおよびドレスデン工科大学(クリックで拡大)

中期(第2世代)の強誘電体メモリ。左は「1T1C」方式のメモリセルの断面図と回路図。右は記憶容量が4Kビットの強誘電体不揮発性メモリのシリコンダイ写真。出典:NaMLabおよびドレスデン工科大学(クリックで拡大)