評価サービス受付開始、ウシオ製EUV光源搭載 左はウシオ電機製のEUV光源を搭載した露光、分析ファシリティ「EBL2」の外観、右は開所式の様子 (クリックで拡大) 出典:ウシオ電機 記事に戻る 馬本隆綱,EE Times Japan