ウエハー型のプラズマ評価 耐熱性も400℃に向上

酸素プラズマに対する変色性と加熱前後の変化。プラズマ処理前は白色膜だったインジケーターが、酸素プラズマで処理することで黄色に変化していることが分かる。また、400℃で加熱しても変色しない （クリックで拡大） 出典：NEDO