ASML、次世代EUV装置に19億米ドルを投資

ASMLはまず第1世代の「NXE:3400B」を2017年から出荷。次世代装置は、1時間当たり145枚のウエハーを処理できる能力備える予定だ （クリックで拡大） 出典：ASML