「SEMICON West 2016」、imecが展望する5nm世代の配線技術(前編) 10nm世代、7nm世代、5nm世代における配線の抵抗(R)、容量(C)、RC積の推移。imecの講演スライドから(クリックで拡大) 記事に戻る 福田昭,EE Times Japan