「SEMICON West 2016」、7nm世代以降のリソグラフィ技術(JSR Micro編) 化学増幅型レジストの改良による感度の向上とパターン品質の向上。JSR Microの講演スライドから(クリックで拡大) 記事に戻る 福田昭,EE Times Japan