“ディスコだから”開発できた純水リサイクル装置 「DWR1710」。サイズと重さは下記の通りとなっている。780×400×1450mm、約200kg。クリーンルームに設置可能だ (クリックで拡大) 出典:ディスコ 記事に戻る 庄司智昭,EE Times Japan