「SEMICON West 2016」、7nm世代以降のリソグラフィ技術（ニコン編）

縮小投影露光装置による微細化の歴史。微細化の歴史とは、露光装置の巨大化の歴史でもあることが分かる。ニコンが初めて開発した縮小投影露光装置（g線ステッパー）のレンズは重さがわずか10kgしかなかった。それが最新のArF液浸スキャナーでは、レンズの重量は1200kg（1.2トン）にも達している（クリックで拡大） 出典：Nikon Research Corporation of Americaの講演スライドから