反転層型ダイヤモンドMOSFETの動作実証に成功

図1：左上＝今回作製した反転層チャネルダイヤモンドMOSFET／右上＝一素子を光学顕微鏡で拡大した画像／下＝赤い破線部の断面模式図 （クリックで拡大） 出典：産業技術総合研究所（産総研）