多結晶並みの生産性で単結晶シリコン作製に成功

NOC法による大型ルツボを用いた大口径・大容量のシリコンインゴット単結晶の成長例(目標結晶の一例) (クリックで拡大) 出典:科学技術振興機構

NOC法による大型ルツボを用いた大口径・大容量のシリコンインゴット単結晶の成長例(目標結晶の一例) (クリックで拡大) 出典:科学技術振興機構