多結晶並みの生産性で単結晶シリコン作製に成功

高純度化前後のn−型ウェハーの少数キャリヤーのライフタイム (クリックで拡大) 出典:科学技術振興機構

高純度化前後のn−型ウェハーの少数キャリヤーのライフタイム (クリックで拡大) 出典:科学技術振興機構