「シリコンは水晶に必ず勝てる」――SiTime 左=MEMS振動子と、プログラマブルなアナログCMOS回路を安価なプラスチックパッケージに収めたMEMS発振器/右=水晶とMEMSの性能の比較(クリックで拡大) 出典:SiTime 記事に戻る 村尾麻悠子,EE Times Japan