0.03μm2のSRAMから最先端のIII-V族FinFETまで 300mmウエハー上で、CMOSにCMOSを積層する3次元(3D)LSI(クリックで拡大) 出典:VLSIシンポジウム委員会 記事に戻る 村尾麻悠子,EE Times Japan