半径3μmでシリコン光導波路を曲げる技術 立体湾曲シリコン光配線の概念図(左)と、それを搭載したシリコン光回路が表面垂直方向からの光ファイバーと光結合した状態の光学顕微鏡写真(右) (クリックで拡大) 出典:産業技術総合研究所 記事に戻る 竹本達哉,EE Times Japan