3D積層に向けたバンプ形成技術、3社で共同開発 新開発のJSR製レジスト材と千住金属工業製バンプ形成装置により、IMS技術を300mmウェハーに適用することが可能となった (クリックで拡大) 記事に戻る 馬本隆綱,EE Times Japan