三重富士通、40nmクリーンルームに次世代空調 左=旋回流誘引型吹出ユニットの構造 / 右=SWITクリーンルームの概念図 (クリックで拡大) 出典:三重富士通セミコンダクター 記事に戻る 竹本達哉,EE Times Japan