ナノインプリント開発の進展状況をキヤノンが講演(5)〜インプリント装置の開発ロードマップ 第2世代機「FPA-1200NZ2C」の要素技術を構成するユニット群 (クリックで拡大) 記事に戻る 福田昭,EE Times Japan