ナノインプリント開発の進展状況をキヤノンが講演（5）〜インプリント装置の開発ロードマップ

第2世代機「FPA-1200NZ2C」の外観と概要。目標仕様は、寸法ばらつき（平行な直線群パターン）が1.3nm、所要電力が90kW、設置面積が30m2など （クリックで拡大）