ナノインプリント開発の進展状況をキヤノンが講演（5）〜インプリント装置の開発ロードマップ

第1世代機「FPA-1100NZ2」が1Xnm世代のNANDフラッシュメモリ向けに稼働している様子 （クリックで拡大）