ナノインプリント開発の進展状況をキヤノンが講演（3）〜生産性と欠陥密度

フルフィールドとパーシャルフィールド。露光領域が26mm×33mm、露光領域間の境界（ストリート）の幅を0.05mmとすると、直径300mmのウエハーでは84箇所の露光領域が存在する。その中で26箇所がパーシャルフィールドになる（クリックで拡大）