ナノインプリント開発の進展状況をキヤノンが講演(2)〜解像度と位置合わせ、生産性 スループット(1時間当たりのウエハー処理枚数)の推移。4台のインプリント装置による合計の処理枚数(クリックで拡大) 記事に戻る 福田昭,EE Times Japan