ナノインプリント開発の進展状況をキヤノンが講演(2)〜解像度と位置合わせ、生産性 重ね合わせ(オーバーレイ)誤差の主な低減手法とウエハー面内における誤差のマップ(クリックで拡大) 記事に戻る 福田昭,EE Times Japan