ナノインプリント開発の進展状況をキヤノンが講演（2）〜解像度と位置合わせ、生産性

重ね合わせ（オーバーレイ）誤差の推移。1年で半分〜3分の1と過去3年で急速に誤差を下げてきた（クリックで拡大）