ナノインプリント開発の進展状況をキヤノンが講演（1）〜低い装置コストが最大の武器

テンプレート（マスターとレプリカ）の現状。開発目標（Target）は、2xnm世代のリソグラフィを想定したもの。テンプレートは大日本印刷が開発・製造した （クリックで拡大）