ASMLがEUVリソグラフィ開発の最新状況を公表(3)〜EUV露光装置の開発史 7nm世代の第1金属(M1)配線に相当する複雑なパターンをNXE:3300Bで露光した結果(クリックで拡大) 記事に戻る 福田昭,EE Times Japan