ASMLがEUVリソグラフィ開発の最新状況を公表（2）〜開発の進ちょく状況

開発用EUV露光装置「NXE:3300B」による実績データ。左上のグラフは、24時間にウエハーの累積処理枚数が増えていった様子を示したもの。24時間で約1000枚のウエハーを処理できたことが分かる。右上のグラフは、レチクルに対する累積露光回数の推移。NXE:3300Bでは28日間で80万回に達した。前世代のEUV露光装置「NXE:3100」では、80万回に達するまでに約2年を必要とした。左下のグラフは、1週間単位でウエハーの累積処理枚数をまとめたもの。4週間連続で目標枚数に達した。右下のグラフは、稼働時間（アップタイム、青色）と非稼働時間（ダウンタイム、赤色）の比率を日単位で示したもの。黄色の折れ線グラフは、過去7日間の平均稼働率（クリックで拡大）