ASMLがEUVリソグラフィ開発の最新状況を公表（2）〜開発の進ちょく状況

2015年におけるEUVリソグラフィの開発状況（続き）。7nm世代のロジック配線を解像できた。レチクルの欠陥数を下げる努力は依然として続いている（クリックで拡大）