ASMLがEUVリソグラフィ開発の最新状況を公表(2)〜開発の進ちょく状況 2015年におけるEUVリソグラフィの開発状況。生産性(Productivity)と稼働率(Availability)は目標を達成した(クリックで拡大) 記事に戻る 福田昭,EE Times Japan