ニコンが展望する10nm以下のリソグラフィ技術（後編）

リソグラフィ技術の違いによる製造コストの比較。スループットは200ウエハー/時間、マスクの寿命は1万ウエハーと仮定した。製造コストは1レイヤー当たりの相対値（クリックで拡大）