ニコンが展望する10nm以下のリソグラフィ技術(前編) 10nm世代のモデルケース。44nmピッチの直線状で平行な金属配線を形成し、複数の箇所でカットする場合を考える (クリックで拡大) 記事に戻る 福田昭,EE Times Japan